真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法
真空鍍膜設(shè)備故障排除及檢漏方法在真空鍍膜設(shè)備正常工作時(shí), 主開關(guān)電路中的開關(guān)管處于飽和導(dǎo)通狀態(tài), 管壓降保持在100V 左右, 柵極得到正偏壓50V, 高壓指示6kV (或10kV)。從檢測(cè)電路R21上得到的電壓控制信號(hào)不足以使D13穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于截止?fàn)顟B(tài),而BG11、BG12、BG13處于導(dǎo)通狀態(tài),由BG11輸出一個(gè)2.5V左右的高電位。柵壓切換電路上的BG10 得到2.5V的電壓控制信號(hào)而處于導(dǎo)通狀態(tài),使得BG9的基極電位變?yōu)?電位而截止,主開關(guān)管通過D6、D7得到正向50V偏置的電壓。同時(shí)BG7、BG8也處于導(dǎo)通狀態(tài),D8穩(wěn)壓管擊穿導(dǎo)通,提供主開關(guān)管柵極恒定的電流。由于BG10處于導(dǎo)通狀態(tài),使得簾柵控制電路的BG4的基極處在0電位而截止,簾柵壓的大小受高壓分壓器信號(hào)UR2的控制。當(dāng)UR2<UD2時(shí), 輸出的簾柵壓的大小是隨UR2的變化而變化。
在真空鍍膜設(shè)備不正常情況下,增加束流時(shí),由于束斑的位置不在中心,電子束可能會(huì)打到坩堝的邊緣,或者束斑的位置在中心,但蒸鍍的材料被打穿等原因,都會(huì)出現(xiàn)高壓無指示。這是由于高壓輸出被近似短路,造成電子束流大于預(yù)定值,主開關(guān)管處于截止?fàn)顟B(tài),承受全部高壓,使得高壓無輸出。由于打火而造成過大的束流,在電流檢測(cè)電路R21取得的過流信號(hào),使得D13穩(wěn)壓管被擊穿導(dǎo)通,BG14、BG15、BG16處于導(dǎo)通狀態(tài),C13通過BG14、R51放電,使得BG11、BG12、BG13 很快截止,BG11 輸出為0V。柵壓切換電路上的BG10得到0V的輸入信號(hào)而截止,BG9立刻導(dǎo)通,550V正端通過BG9接到主開關(guān)管的陰極,負(fù)端通過D5管接到主開關(guān)管的柵極,主開關(guān)管得到-550V偏壓而進(jìn)入深度截止,此時(shí)高壓就沒有指示了。
真空鍍膜設(shè)備檢漏方法真空鍍膜機(jī)廠家介紹檢查漏氣情況是保證真空鍍膜設(shè)備真空度的一項(xiàng)檢查措施，簡(jiǎn)稱檢漏，真空度的高低是直接影響到鍍膜效果的，所以檢漏是必不可少的。
一般真空室內(nèi)漏氣都是從室壁上的一些小孔或部件之前的連接位細(xì)縫中產(chǎn)生，當(dāng)抽氣系統(tǒng)抽氣后使真空室內(nèi)壓強(qiáng)下降，外部與內(nèi)部的壓強(qiáng)差使氣體從壓強(qiáng)高的外部流向壓強(qiáng)低的真空室內(nèi)，造成真空度下降。
真空鍍膜設(shè)備廠家介紹在檢漏的過程中，需要注意一些問題，才能把檢漏工作做好。
第一，要確認(rèn)漏氣到底的虛漏還是實(shí)漏，因?yàn)楣ぜ牧霞訜岷蠖紩?huì)在不同程度上產(chǎn)生氣體，有可能誤以為是從外部流進(jìn)的氣體，這就是虛漏，要排除這種情況。
第二，測(cè)試好真空室的氣體密封性能，確保氣密性能符合要求。
第三，檢查漏孔的大小，形狀、位置，漏氣的速度，制備出可解決方案并實(shí)施。
第四，確定檢測(cè)儀器的最小可檢漏率和檢漏靈敏性，以最大范圍的檢測(cè)出漏氣情況，避免一些漏孔被忽略，提高檢漏的準(zhǔn)確性。
第五，把握檢漏儀器的反應(yīng)時(shí)間和消除時(shí)間，把時(shí)間掌握好，保證檢漏儀器工作到位，時(shí)間少了，檢漏效果肯定差，時(shí)間長(zhǎng)了，浪費(fèi)檢漏氣體和人工電費(fèi)。
第六，還要避免漏孔堵塞，有時(shí)由于操作失誤，檢漏過程中，一些灰塵或液體等把漏孔堵塞了，以為在該位置沒有漏孔，但當(dāng)這些堵塞物由于內(nèi)外壓強(qiáng)差異提高或其他原因使漏孔不堵了，那漏氣還是存在的。
為真空鍍膜設(shè)備做好檢漏工作是很重要的，造成真空度下降的原因多種多樣，我們要一一的解決這些原因，穩(wěn)定鍍膜的效果。
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