本發(fā)明涉及一種真空鍍膜機(jī)。
背景技術(shù)：
真空鍍膜機(jī)一般是加熱靶材使表面組分以原子團(tuán)或離子形式被蒸發(fā)出來，并且沉降在基片表面，通過成膜過程形成薄膜，而真空泵是真空鍍膜機(jī)中最重要的零部件，但真空泵常常會出現(xiàn)一些故障導(dǎo)致鍍膜設(shè)備沒法正常工作，存在一定的不足之處。
技術(shù)實(shí)現(xiàn)要素：
本發(fā)明的目的就在于提供一種真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置。
本發(fā)明是這樣實(shí)現(xiàn)的。真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，包括一個機(jī)體，在機(jī)體上設(shè)置溫度感應(yīng)模塊、間隙感應(yīng)模塊、傳輸模塊、管理模塊，溫度感應(yīng)模塊感應(yīng)真空鍍膜機(jī)電機(jī)的溫度以及被抽氣體的溫度情況，間隙感應(yīng)模塊感應(yīng)旋片與定子之間的間隙大小，感應(yīng)到的信息通過傳輸模塊傳輸至管理模塊進(jìn)行處理。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，在機(jī)體上設(shè)置運(yùn)作感應(yīng)模塊，感應(yīng)真空鍍膜機(jī)真空泵有無冒煙或漏油現(xiàn)象。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，設(shè)置提示模塊，當(dāng)真空鍍膜機(jī)電機(jī)溫度過高或運(yùn)作異常時發(fā)出提示信息。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，提示信息的方式為聲音或LED燈光顯示。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，在機(jī)體上設(shè)置油量感應(yīng)模塊，感應(yīng)真空鍍膜機(jī)泵腔內(nèi)的油量情況。
上述真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，能夠防止真空鍍膜機(jī)真空泵出現(xiàn)冒煙和漏油現(xiàn)象，保證真空泵的真空度，更加有效的保障了真空鍍膜機(jī)的正常運(yùn)行。
附圖說明
附圖為一種真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置的結(jié)構(gòu)示意圖。
圖中標(biāo)號分別為：1-機(jī)體、2-溫度感應(yīng)模塊、3-間隙感應(yīng)模塊、4-傳輸模塊、5-管理模塊、6-運(yùn)作感應(yīng)模塊、7-提示模塊、8-油量感應(yīng)模塊。
具體實(shí)施方式
實(shí)施例：如附圖所示。真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，包括一個機(jī)體(1)，在機(jī)體(1)上設(shè)置溫度感應(yīng)模塊(2)、間隙感應(yīng)模塊(3)、傳輸模塊(4)、管理模塊(5)，溫度感應(yīng)模塊(2)感應(yīng)真空鍍膜機(jī)電機(jī)的溫度以及被抽氣體的溫度情況，間隙感應(yīng)模塊(3)感應(yīng)旋片與定子之間的間隙大小，感應(yīng)到的信息通過傳輸模塊(4)傳輸至管理模塊(5)進(jìn)行處理。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，在機(jī)體(1)上設(shè)置運(yùn)作感應(yīng)模塊(6)，感應(yīng)真空鍍膜機(jī)真空泵有無冒煙或漏油現(xiàn)象。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，設(shè)置提示模塊(7)，當(dāng)真空鍍膜機(jī)電機(jī)溫度過高或運(yùn)作異常時發(fā)出提示信息。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，提示信息的方式為聲音或LED燈光顯示。
真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，在機(jī)體(1)上設(shè)置油量感應(yīng)模塊(8)，感應(yīng)真空鍍膜機(jī)泵腔內(nèi)的油量情況。
上述真空鍍膜機(jī)真空泵的保養(yǎng)維護(hù)裝置，能夠防止真空鍍膜機(jī)真空泵出現(xiàn)冒煙和漏油現(xiàn)象，保證真空泵的真空度，更加有效的保障了真空鍍膜機(jī)的正常運(yùn)行。
