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真空電鍍?cè)O(shè)備的監(jiān)控方法

作者:馳誠(chéng)機(jī)械  來(lái)源:溫州馳誠(chéng)機(jī)械設(shè)備有限公司  更新時(shí)間:2017-9-16 13:47:02  點(diǎn)擊次數(shù):
隨著基礎(chǔ)工業(yè)及高新技術(shù)產(chǎn)品的發(fā)展,對(duì)優(yōu)質(zhì)、高效表面改性及涂層技術(shù)的需求向縱深延伸,國(guó)內(nèi)外在該領(lǐng)域與相關(guān)學(xué)科相互促進(jìn)的局勢(shì)下,表面改性與涂層工藝模擬和性能預(yù)測(cè)等方面都有著突破的進(jìn)展。以下就和大家介紹一下真空電鍍?cè)O(shè)備的監(jiān)控方法:
1、目視監(jiān)控:使用眼睛監(jiān)控,因?yàn)楸∧ぴ谏L(zhǎng)的過(guò)程中,由于干涉現(xiàn)象會(huì)有顏色變化,我們就是根據(jù)顏色變化來(lái)控制膜厚度的,此種方式有一定的誤差,所以不是很準(zhǔn)確,需要依靠經(jīng)驗(yàn)。
 
2、極值監(jiān)控法:當(dāng)膜厚度增加的時(shí)候其反射率和穿透率會(huì)跟著起變化,當(dāng)反射率或穿透率走到極值點(diǎn)的時(shí)候,就可以知道鍍膜之光學(xué)厚度ND是監(jiān)控波長(zhǎng)(入)的四分之一的整倍數(shù)。但是極值的方法誤差比較大,因?yàn)楫?dāng)反射率或者透過(guò)率在極值附近變化很慢,亦就是膜厚ND增加很多,R/T才有變化。反映比較靈敏的位置在八分之一波長(zhǎng)處。
 
3.定值監(jiān)控法:此方法利用停鍍點(diǎn)不在監(jiān)控波長(zhǎng)四分之一波位,然后由計(jì)算機(jī)計(jì)算在波長(zhǎng)一時(shí)總膜厚之反射率是多少,此即為停止鍍膜點(diǎn)。
 
4.水晶振蕩監(jiān)控:利用石英晶體振動(dòng)頻率與其質(zhì)量成反比的原理工作的。但是石英監(jiān)控有一個(gè)不好之處就是當(dāng)膜厚增加到一定厚度后,振動(dòng)頻率不全然由于石英本身的特性使厚度與頻率之間有線性關(guān)系,此時(shí)必須使用新的石英振蕩片。
 
真空電鍍?cè)O(shè)備
 
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